一般的真空電子束焊機(jī)由五部分組成。

首先是電子槍部分，這是核心，重要的部分；
其次，真空部分包括真空室和一系列真空泵組，這是電子束焊接效率降低的原因，因為真空抽氣時間長且缺乏其他焊接方法；
三，機(jī)械傳動部分，包括一些軸傳動等。一般的電子束焊接軸分為兩個軸，三個軸，四個軸，五個軸（x軸，y軸，z軸，a軸）。 （旋轉(zhuǎn)軸），b軸（轉(zhuǎn)向軸）），通常，五個軸足以滿足每個位置的焊接要求；如果它在移動噴槍，則還有噴槍的移動部件等；
第四，電力系統(tǒng)，無論是高壓（150kV）還是中壓（60kV），都需要該電力系統(tǒng)；
第五，控制系統(tǒng)是整個設(shè)備運(yùn)行所要有的系統(tǒng)，它可以是非常原始的DOS系統(tǒng)，也可以是西門子的840D系統(tǒng)。但這是整個真空電子束焊機(jī)設(shè)備可以運(yùn)行和運(yùn)行的重要組成部分。
以上五個部分是必不可少的，但這五個是核心部分。有些具有其他功能，例如送絲系統(tǒng)等。